Si(Li)x射线能谱仪于一九六八午首次应川在电子探针,成为一种x射线微分析的工具。此后,在能量分辨率、计数率和数据分析等方面作了许多改进,目前已经成为电子探针和扫描电镜的一种受欢迎的附件,甚至在透射电子显微镜上也得到应用。
