| 仪器名称： | 合金炉 |
| 仪器编号： | 11013950 |
| 产地： | 美国 |
| 生产厂家： | THERMCO |
| 型号： | MB-81 |
| 出厂日期： | 200406 |
| 购置日期： | 201107 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺 |
| 放置地点： | 新所一楼工艺平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 曹秉军（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 半导体 微纳加工 集成电路 合金 |
| 技术指标： | 4寸硅片，合金工艺。工艺温度390℃，430℃，450℃。 |
| 知名用户： | 吴华强 微电子所；许军 微电子所；陈炜 微电子所；钱鹤 微电子所；刘泽文 微电子所；岳瑞峰 微电子所； 王喆垚 微电子所；蔡坚 微电子所；邓宁 微电子所；伍晓明 微电子所；张志勇 北京大学； 金传洪 浙江大学电教中心；何立平 中科院物理所 ；泰科天润 泰科天润 |
| 技术团队： | 曹秉军 张忠会 窦维治 |
| 功能特色： | 4寸硅片，合金工艺。工艺温度390℃，430℃，450℃。 |
样品要求：
同时可做25片；硅片尺寸： 4英寸、5英寸
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 合金炉-机时费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 400.0 | |
| 合金炉-送样测试费 | 元/小时 | 测试费 | 400.0 |