X射线光电子能谱技术（XPS）的基本组件

发布时间：2022-01-17 12:42 原文链接： X射线光电子能谱技术（XPS）的基本组件

X射线源
超高真空不锈钢舱室及超高真空泵
电子收集透镜
电子能量分析仪
μ合金磁场屏蔽
电子探测系统
适度真空的样品舱室
样品支架
样品台
样品台操控装置

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