X射线能谱仪分析的基本原理

X射线能谱仪为扫描电镜附件，其原理为电子枪发射的高能电子由电子光学系统中的两级电磁透镜聚焦成很细的电子束来激发样品室中的样品，从而产生背散射电子、二次电子、俄歇电子、吸收电子、透射电子、X射线和阴极荧光等多种信息。若X射线光子由Si（Li）探测器接收后给出电脉冲讯号，由于X射线光子能量不同（对某一元素能量为一不变量）经过放大整形后送入多道脉冲分析器，通过显像管就可以观察按照特征X射线能量展开的图谱。一定能量上的图谱表示一定元素，图谱上峰的高低反映样品中元素的含量（量子的数目）。