在国外六十年代初期发展起来的一种新的核辐射探测器——锂漂移硅核辐射探测器, 在七十年代初因探测效率高,能量分辨率好,被应用于 X 射线能谱仪。目前硅(锂)谱仪的能量分辨率达110电子伏(对 MnK_α5．9千电子伏的 X 射线)。近十年来,扫描电子显微镜(包括大型、小型)、电子探针仪和透射电子显微镜等都普遍地装配了 X 射线能谱仪, 广泛地应用于冶金学、地质学、动物学、物理学等若干科
