作为一种比较分析技术，在一定的条件下，利用初级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生荧光（次级X射线）而进行物质成分分析的仪器。
按激发、色散和探测方法的不同，分为：
X射线光谱法（波长色散）
X射线能谱法（能量色散）
