固体样品包括粉末样品、固体金属和非金属样品、固体块状样品。对于固体样品，可以采取将其制成溶液后按液体样品方式测定的方法，也可以直接以固体形态进行测定。而对于金属样品一般直接取样分析。
粉末样品制样方式比较多，通常采取压片法和熔融法。两者各有优缺点，压片法操作简便快捷但是干扰严重，测量精密度和准确度较差；熔融法消除了粒度影响、基体效应下降，测量的精密度和准确度高，但是操作复杂，技巧性较强。
