①分析的元素范围广，除少数轻元素外，周期表中几乎其他所有的元素都能进行分析。随着仪器的改进，分析元素已经扩展到F，O，C等轻元素。
②荧光X射线谱简单，谱线干扰少，对于化学性质极其相似的元素，如稀土、锆铪、铂系等，不需经过复杂的分离，就能成功地完成分析工作。
③分析的浓度范围较宽，从常量组分到痕量杂质都能测定。主要用于常量分析和一些元素的微量分析。
④分析试样不受破坏，分析迅速准确，也便于实现自动化，因此在生产中越来越多地用于流水线分析。
