1.分析速度快，通常每个元素分析测量时间在2～lOOs之内即可完成。
2.非破坏性，X射线荧光分析对样品是非破坏性测定，使得其在一些特殊测试如考古、文物等贵重物品的测试中独显优势
3.分析样品范围广，可以对元素周期表上的多种元素进行分析，并可直接测试各种形态的样品。
4.分析样品浓度范围宽，可分析含量在0.0001%～100%宽范同内的组分含量。
5.分析精度高、重现性好。
