分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2-5分钟就可以测完样品中的全部元素。
非破坏性。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
分析精密度高。制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
测试元素范围大，WDX可在ppm-100%浓度下检测B5-U92，而EDX可在1ppm-100ppm下检测大多数元素，Na11-U92。此外还可以检测Cu合金中的Be含量。
可定量分析材料元素组成，分辨率高，探针尺寸为500μm (WDX), 75μm (EDX)。