优点
1.被测样品不需前处理，仪器操作方便、快捷，实时得出分析结果；
2.对大块样品非破坏性、无损检测，特别适合贵金属成分分析；
3.便携式XRF光谱仪对固体、粉末、液体能做到现场实时分析出结果，是野外工作者很好的分析工具；
4.因为不需用到任何化学试剂，整个分析过程不会对环境造成污染，同时有效保护分析人员身体健康；
5.分析成本低，是大型化学分析仪器无法比拟的；
6.在极短的时间内，同时分析几十种元素，检测精度可达到实验室水平。
缺点
1.对轻质元素分析灵敏度较低，无法做准确定量分析，可以定性；
2.XRF光谱仪检出限无法做到象化学分析仪器那么低，故对样品中含量很低的元素分析偏差会较大，或检测不到；
3.容易受到同类元素的干扰，产生光谱峰叠加，影响测试结果准确度；
4.只能对单质元素进行分析，无法分析无机化合物和有机化合物；
5.理论上能对全元素分析检测，但实际应用中只对30几种元素分析效果非常好。
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