XRF镀层测厚仪的技术介绍

　　XRF技术的最小检测厚度为大约1nm。如果低于这个水平，则相应的特征X射线会淹没于噪声信号中，无法对其进行识别。最大范围约为50μm左右。如果在该水平之上，则镀层厚度将导致内层发射的X射线无法穿透镀层而到达探测器。即厚度的任何进一步增加都不会导致更多的X射线到达探测器，因此厚度达到饱和无法测出变化。