发布时间:2018-03-02 00:00 原文链接: 固体器件与集成技术研究室

固体器件与集成技术研究室
 
   固体器件与集成技术研究室(简称集成室)主要侧重极大规模集成电路工艺技术、硅基微纳电子器件与集成技术的研究。研究室前身是集成电路工艺研究室,建有全国大专院校唯一的5英寸深亚微米集成电路开发与工业性试验线,拥有包括外延、光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散、薄膜溅射及WAT测试等多台大型设备在内的深亚微米集成电路成套工艺设备,超净实验面积960平方米,是中国北方微电子研究开发基地的重要组成部分和主要依托单位,也是教育部“固体器件与集成技术”工程研究中心的依托筹建单位。
       研究室现有教学科研人员12人,其中教授研究员1人,副教授、副研究员、高级工程师及高级实验师9人,讲师及助理研究员1人;另有实验室工程师、技术人员17人,退休返聘及合同制科研人员9人。
 

 

主要研究方向

1)      新型微纳米材料及微纳电子器件技术
         新型微纳米材料及高K介质材料研究
         面向纳米尺度器件应用的应变沟道及高迁移率沟道技术
         新型微纳电子器件、工艺及集成技术研究
         极端条件应用SiGe/Ge器件与集成电路
 
2)      硅基微波功率器件及微波集成电路技术
         高性能SiGe外延材料制备技术及选择性外延工艺研究
         微波功率SiGe HBT及硅基微波集成电路(MMIC)研究
         射频SiGe-BiCMOS集成工艺技术研究
         新型高压功率及射频功率器件与BCD兼容工艺技术研究
 
3)      新型非挥发存储器件及集成电路技术
         新型非挥发存储器件、材料、工艺及电路集成技术
         特种应用非挥发存储器技术研究
         嵌入式快闪存储器与存储器新应用技术研究
         传感器处理电路及硅基集成传感器技术研究
 
4)      创新性集成电路专用设备及设备工艺
         集成电路专用设备共性技术及设备工艺
         SiGe超高真空外延系统(UHV-CVD)及材料外延技术
         快速热退火及激光退火设备

 任:潘立阳
 话:010-62789192
 真:010-62771130
副主任:王 敬
 话:010-62789152
 真:010-62771130

 



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