纳米器件物理与化学教育部重点实验室成立于2003年10月，其核心任务是研究纳米器件表现出的奇异的物理和化学性质，探索纳米尺度的材料和工艺，为进一步发展基于新的工作原理的、更小、更快、功能更强大的集成芯片做准备。 实验室主要研究内容基本为有重大应用牵引的基础研究：（1）发展与微电子工艺可能结合的纳米加工技术；（2）探索新型纳电子材料；（3）新型纳电子器件的工作原理及量子调控手段；（4）研究新型纳电子器件可能的集成方式及相应的信号提取和处理方式；（5）增强纳米元器件的功能，发展集纳电子、光电子和传感功能为一体的纳米器件；（6）发展纳米表征和测量方法。
| 实验室主任： 彭练矛 | 实验室主任电话： 62764967 | 实验室主任邮箱： lmpeng@pku.edu.cn |
| 实验室副主任： 陈 清 | 实验室副主任电话： 62757555 | 实验室副主任邮箱： qingchen@pku.edu.cn |
| 仪器管理员： 陈 清 | 仪器管理员电话： 62757555 | 仪器管理员邮箱： qingchen@pku.edu.cn |