北京大学信科学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室

北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室成立于1987年，位于燕园东北侧新区，一体东侧，成府园区内。目前已经发展成为全球大学校园内一流的微电子工艺实验平台，也是国际上为数不多的能够同时进行金属氧化物半导体（MOS）器件工艺和硅基微电子机械系统(MEMS)技术研究的实验室。实验室的研究方向为：基于硅微电子工艺的三维微纳加工工艺；MEMS/NEMS与集成电路（IC）设计与制造技术。实验室的建设宗旨是：进行MEMS设计与加工技术研究；合作开展MEMS技术应用研究；为国内外重大MEMS研究项目提供加工技术服务；为国内外产业及研究机构服务；开展MEMS技术产业化研究工作；培养MEMS领域的高级工程技术和研究人才，为相关院校博士生提供教学与研究实验基地。目前实验室主任为金玉丰教授，仪器设备管理员为王兆江教授级高级工程师。