电子科技大学科学技术发展研究院电子薄膜与集成器件国家重点实验室

电子科技大学科学技术发展研究院电子薄膜与集成器件国家重点实验室

电子薄膜与集成器件国家重点实验室（http://www.etfid.uestc.edu.cn），2006年7月经科技部批准正式成立。

1、实验室人才队伍情况

　　目前，实验室有固定人员80人，其中中科院院士1人，长江学者特聘教授5人，国家杰出青年基金获得者5人，国家自然科学基金委“创新群体”１个，教育部创新团队1个，教育部跨世纪人才、优秀青年和骨干青年教师8人，四川省学术/技术带头人6人，博士生导师26人，教授45人。研究人员中90%具有博士、硕士学位，85％在45岁以下。实验室目前已具备每年200名左右硕士生、30名左右博士生、10名左右博士后的人才培养规模。

2、实验室的研究方向

　　根据电子薄膜与集成器件领域中主要涉及的科学问题，以及我国电子信息领域的需求牵引，并结合重点实验室的研究特色，实验室将以下三个方向作为重点研究方向：⑴ 磁电薄膜与微型器件。主要解决集成器件中电磁信息的探测和传输。⑵ 功率半导体器件及集成技术。主要解决集成系统中信息的处理和执行。⑶ 电子聚合物与微结构传感器。主要解决微结构中光电信息的获取和传感。

3、实验室拥有的科研条件

　　实验室覆盖了微电子学与固体电子学、电子材料与元器件、材料科学与工程、材料物理化学、材料学5个博士点学科，拥有电子科学与技术、材料科学与工程2个博士后流动站，其中微电子学与固体电子学为国家重点学科。实验室面积近4000 m2，拥有仪器设备500余套，价值8000余万人民币。已初步建成具有国际水平的“材料与器件制造工艺平台”、“微细加工平台”、“电磁性能测试与微结构表征平台”和“集成电路设计平台”，具备承担国家重大基础研究项目的能力。

4、实验室科研成果

　　近5年，实验室科研工作硕果累累。目前，实验室共承担包括国家自然基金、973、863等各类项目在内的民口纵向项目和校企合作项目等科技项目共约200余项，总经费达2亿元，其中，2009年的科研经费超过7000万元。科研成果获国家级奖励7项，省部级奖24项，市级奖5项，申请发明专利150余项，获得包括美国发明专利在内的专利授权40余项，发表学术论文1000余篇，出版学术专著和教材7部。取得了包括“新耐压层与全兼容功率器件”等一系列标志性成果。实验室坚持面向社会，服务社会，致力于科研成果的推广和应用，“半导体陶瓷电容器”、“功率铁氧体及宽频双性复合材料”、“集成电路系列产品”等科研成果的成功转化，企业取得4亿多元的直接经济效益及良好的社会效益。

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