嘉庚创新实验室公共支撑平台

嘉庚创新实验室公共支撑平台作为实验室的特色平台，由亚洲首个无噪声实验室、电子显微平台、谱学分析平台、微纳加工平台、超级干燥室、嘉庚智算中心六大功能平台组成，可提供全球领先的研发设施和实验环境条件，真正满足一站式加工、表征、测试、认证等服务需求，可为企业、高校、科研院所在微纳器件加工、材料分析与表征、器件失效分析、智能计算等领域提供优质研发技术服务

1、亚洲首座无噪声超精密加工与表征实验室：为新材料及半导体器件研发提供接近理想条件的实验室平台，从而能够实现超精密加工的极限精度和测量表征的极限分辨率；

2、微纳加工平台：具备从晶圆清洗、薄膜制备、刻蚀、光刻图形加工、微纳结构表征及后道封装的全流程操作设备，可以为半导体、集成电路、平板显示、光电信息等行业提供一站式技术攻关和研发条件；

智算中心：瞄准新能源、新材料与半导体行业中材料与器件设计与研发中的难点建立，能够提供强大的算力资源，同时将厦大特色的材料合成与材料表征结合起来，提供一套厦大特色的算法与软件能力，可为大规模科学计算、模拟仿真、数据处理、分析存储等需求提供强有力的支撑

姓名：王文彬

电话：18859241924

地址：福建省厦门市厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼