发布时间:2020-06-24 09:07 原文链接: Park原子力显微镜将携新品亮相SEMICONChina2020

  Park原子力显微镜公司,作为世界知名的原子力显微镜制造商宣布了一款新品,名为Park NX-TSH, 此款龙门架设计平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计,最大样品可以测到2200 mm。NX-TSH的模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。

  Park将参加6月27-29日举行的SEMICON China 2020,并在E7549展位上展示新品Park NX-TSH和NX-Photomask, 并将在稍后举行的SEMICON West展会上进行线上产品展示秀。

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  地址:上海新国际博览中心

  时间:2020年6月27-29日

  展位:E7 7549

  新品看点多多:

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  Park NX-TSH为OLED面板行业整片测量, 超高尺寸镜片测量,提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。

  “Park NX-TSH专为生产制造下一代平板显示器的半导体厂(fab)开发设计,并克服了300 mm的门槛限制,”Park市场部副总裁Keibock Lee说道。“使用导电原子力显微镜,Park NX-TSH通过可选的接触样品表面的探针台探测样品表面,并向晶圆上的器件提供电流。”

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  该全自动Park NX-TSH系统专为超大样品量身订造,扫描器可以固定在龙门架上,并能提供高分辨率的粗糙度测量,步长测量,临界尺寸和侧壁测量。

  Park NX-TSH专为Gen8+和所有大平板显示器研发,不仅能够进行纳米级尺寸测量,也可进行微区电性测试。不仅如此,Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂,实现自动化测量。


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