发布时间:2020-05-22 15:51 原文链接: 氦质谱检漏仪漏率最小是多少

  氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)是用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

  最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s

  漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s