氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s
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氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的......
日本产综研开发出了能够有选择地以高灵敏度（1分钟内2ppm）检测出半导体制造工艺中用到的含氟蚀刻气体的检测剂，并且试制出了使用这种检测剂的小型检漏仪。这种检测剂还可以用来检测更高性能的新一代含氟蚀刻气......