吉林大学采购真空转移原子力显微镜与扫描电镜联用系统

　　分析测试百科网讯 近日，真空转移原子力显微镜与扫描电镜联用系统（项目编号：JLU-ZC19131）进行公开招标， 配备如下功能模式：接触式原子力显微镜（AFM）；轻敲式原子力显微镜(DFM)； 开尔文力显微镜(KFM)；压电响应显微镜（PRM）等；预算金额：444.6万。详情如下：

　　项目联系人：林老师 电话：0431-85167310

　　开标时间：2019年11月21日 08:30

　　开标地点：吉林省长春市前卫路10号吉林大学前卫校区商贸楼（北门外）四楼（致远街与前卫路交汇，315路公交调度站旁）吉林大学招标与采购管理中心会议室

　　1.采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

原子力显微镜配置功能要求：4英寸马达台的全自动型原子力显微镜，可自动安装、更换探针，自动激光调整，并可实现测量参数自动优化。通过SEM-AFM共享坐标样品台，轻松实现扫描电镜和原子力显微镜同视野观察和分析。原子力显微镜与扫描电镜所获得的数据能够很好的匹配、关联，不仅能够获得样品同一位置的表面信息、成分数据，还能获得同一位置的3D形貌信息及物理性质分布数据，能够更全面的了解目标样品，获得更加综合的实验数据。

　　2.主要配置和技术指标

　　2.1 原子力显微镜 1套

　　2.1.1 配备如下功能模式：接触式原子力显微镜（AFM）；轻敲式原子力显微镜(DFM)； 开尔文力显微镜(KFM)；压电响应显微镜（PRM）等；

　　2.1.2 具备自动测量参数设定功能：可一键智能完成全部测量功能，包括探针识别，探针安装，光轴调整，探针共振频率测量，探针样品接近，自动最优参数设定，扫描图像，图像后处理等步骤；

　　2.1.3 可实现双通道最高4096×4096高像素采集，四通道最高2048×2048高像素采集；

　　2.1.4 具备图形叠加功能：实现形貌图像和物理性能图像的叠加，并可控制两种图像在叠加图像中所占的比例；

　　2.1.5 自动菜单测量功能：在设定扫描参数的前提下，设备可自动执行多达100个图像的扫描，并可分别保存；

　　2.1.6 可通过预扫描功能自动设定最优化的扫描器Z range；

　　2.1.7 具有用户导航软件，可按操作步骤实时指导操作者从探针安装，样品放置，激光调节，参数设定、扫描控制到图形处理、图形分析；

　　2.1.8 有长方形扫描功能；

　　2.1.9 可在扫描图像的同时监视扫描剖面曲线，最多可同时监视四通道曲线；

　　2.1.10 图像缓存功能，可在缓存里存储所有测量或数据处理过程获得的图像，即使临时断电也不会使图像丢失；

　　2.1.11 扫描过程中可实时更换测量中心点或是放大某个局部；

　　2.1.12 图形处理软件具备tilt, flat, mask, FFT, Local filter等功能；

　　2.1.13 图形分析功能包括剖面曲线分析，粗糙度，长度，高度测量等功能；

　　2.1.14 WINDOWS 10操作系统；

　　2.1.15 扫描器：平板闭环扫描器 扫描范围XY：≥200μm，Z：≥15μm；

　　2.1.16 噪音水平：RMS≤0.04nm

　　2.1.17 样品台：全自动马达样品台，样品最大尺寸：直径≥100mm且高≥20mm，样品最大重量≥2kg；

　　2.1.18 样品移动：XY方向，自动马达控制，移动范围≥±50mm，Z方向，自动，移动范围≥20mm；

　　2.1.19 内置光学显微镜：软件控制变倍和变焦；

　　2.1.20 减震系统：主动式防震台；

　　2.1.21 大型落地式隔音罩，具备多层结构的吸音材料；

　　2.1.22 探针：接触模式探针（30根）；轻敲模式探针（30根），KFM用探针（10支）；

　　2.1.23 设备可与扫描电子显微镜同视场定位, 可实现SEM-SPM同位置观察。

　　2.2 场发射扫描电镜主机 1套

　　2.2.1 电子光学系统

　　*2.2.1.1 二次电子像分辨率：≤0.7nm（15kV）且≤0.8nm（1kV）；

　　2.2.1.2 加速电压： 0.5 ～ 30kV；0.1kV/步；着陆电压：0.1 ～ 2kV（减速模式）；

　　2.2.1.3 放大倍数：20 ～ 1,000,000 ×；

　　2.2.1.4 电子枪：场发射电子枪，保证5年以上稳定使用，具有意外停电直接启动功能；

　　2.2.1.5 对中：具有自动对中功能；

　　2.2.1.6 聚焦、消像散：自动聚焦、自动消像散并配有旋钮板可手动聚焦及消像散调节；

　　2.2.1.7 物镜光阑：多孔机械可调式，内置加热自清洁装置；

　　2.2.2 样品室

　　2.2.2.1 样品台：3轴中心马达驱动；

　　2.2.2.2 样品移动：X：0 ～ 50mm；Y：0 ～ 50mm；Z：1.5 ～ 30mm；倾斜角 -5°～ +70°；R = 360°连续旋转；

　　2.2.2.3 样品交换预抽室：可保证直径100mm样品通过性；

　　2.2.2.4 有样品防撞警报装置；

　　2.2.2.5 可放置样品最大尺寸：直径≥100mm；

　　2.2.3 检测器

　　2.2.3.1 低位二次电子探测器：可得到二次电子像；

　　2.2.3.2 高位二次电子探测器：可选择接收二次电子像或背散射像，并以任意比例混合，在低压下（小于2kV）可以成背散射电子像；

　　2.2.4 数字图像记录系统

　　2.2.4.1 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告；

　　2.2.4.2 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等；

　　2.2.4.3 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3840像素；

　　2.2.5 电镜控制系统

　　2.2.5.1电镜控制软件：具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能；

　　2.2.5.2 主机：主流配置，带有刻录功能，Windows®10，24英寸显示器；

　　2.2.6 真空系统

　　2.2.6.1 真空泵：机械泵，涡轮分子泵（磁悬浮型）及二级以上离子泵；

　　2.2.6.2 真空度：电子枪部分≤10-7Pa；样品室部分≤10-4Pa ；

　　2.2.6.3 保护：自动真空抽气及诊断系统，具有断电、缺水、失真空保护系统；

　　2.2.6.4 样品更换抽真空时间：≤1分钟。

　　2.2.7 能谱仪

　　2.2.7.1 能量分辨率（MnKa处）：≤127eV；

　　2.2.7.2 检测元素范围：Be4 ～ Cf98；

　　*2.2.7.3.有效晶体活区面积：≥65mm² ；

　　2.2.7.4 面分布分析、线扫描、无标样定量分析数据管理与报告；

　　2.2.7.5 配备高低电压数据库低电压下定量更准确；

　　3. 其他要求

　　3.1 电镜需适应现有实验室条件：电镜必须可适应在独立地线不小于40欧姆环境下正常工作，无需安装减震台与磁屏蔽即可达到现场验收分辨率指标；

　　3.2 电镜光学系统所需的耗材（灯丝+光阑等）要求能够保障正常使用5年以上（如为冷场灯丝，额外提供1套以上；热场灯丝，额外提供4套以上）；

　　3.3 电镜配备真空转移系统，可以实现待测样品在手套箱内制备完成后，直接转移至样品仓内观察，避免空气对待测样品的破坏；

　　3.4 联合共建实验室，在售后、维护及保养等多方面提供更多的支持。