为了更好理解样品在通过等离子体源的时候发生了什么，所以需要先了解一些放电区域的不同温度。
等离子体不同温度区域
从上图等离子体的横截面可以大致看出不同区域的温度。样品经进样系统进入到雾室形成样品气溶胶。气溶胶以一定速率进行运动，会撞击形成孔洞通过等离子放电中心。在气溶胶于分析区(analytical zone)最终形成正电荷离子之前，从预热区(preheating zone)开始，而后继续经过辐射区(radiation zone)，发生一些列的物理变化。
简单点说，可以假设元素以痕量金属盐的形式存在于溶液。 第一步：液滴脱溶剂。随着水分子的去除，金属盐会形成非常小的固体颗粒； 第二步：基态原子形成。当样品进一步移动至等离子体中，固体颗粒首先形成气态形式，然后变成基态原子； 第三步：电离。通过活泼氩电子（还有少部分氩气离子）的碰撞，最终将基态原子转变成离子； 第四步：传输。离子从等离子体中暴露出来，直接进入质谱接口。 以上就是Thomas前辈对ICPMS中元素如何离子化的诠释。
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