X射线荧光光谱分析的发展概述

20世纪80年代初期，商品X射线荧光光谱仪主要有波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)、能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)和以正比计数器为探测器的可携式X射线荧光光谱仪(PXRF)。WDXRF谱仪的送样系统和参数的设置已高度自动化，用户根据待分析试样的组成购买理论α系数表，用于校正基体中元素间的吸收增强效应，将测得的强度转为浓度，并获得与化学分析结果相当的准确度。因此，在1983年Kikkert认为XRF分析是一种成熟的分析方法。然而迄今30年来由于微电子学、计算机科学、核科学和材料学的迅猛发展，为XRF分析新的发展奠定了坚实的物质基础，同时又成为XRF分析学科的发展动力，其中微XRF分析、 全反射、用于现场分析和原位分析的可携式和手持式谱仪应运而生，呈现出逢勃发展的态势。即使WDXRF 分析，无论从谱仪本身还是分析方法的建立和应用，也己与30年前不可同日而语。

以2011年为例，West等收集了2010年4月至2011年3月期间的547篇文献，以仪器和应用两大类予以评述，将仪器及性能部分按照通用仪器、激发源、探测器、试样分析、基体校正和计算方法、X射线光透镜和微束X射线荧光光谱(μ－XRF)、SRXRF、全反射XRF、手持式和可移动式XRF、在线XRF等进行介绍。应用领域的评述涉及样品制备和预浓缩技术、地质、工业材料、环境监测、气溶胶和颗粒、工业行为的影响、考古、文化遗产及识别、工业、临床、药物、生物、薄膜、涂层和纳米级材料、化学态和物种形成。自世纪起该期刊的评述内容的格局基本一致，由此可见XRF技术的发展和应用领域之广。

我国XRF分析技术的建立始于20世纪50年代末，直至20世纪80年代初主要用于科研院所和地质实验室，从事地质和材料中稀土、锆铪和铌钽等元素的分析。现已成为建材、冶金、石油化工、无机非金属材料、有机材料等工业领域分析质量控制的首选仪器之一，并在环境分析、司法取证、文物分析、生物样品和活体分析等领域获得广泛的应用。

20世纪80年代初我国学者开始从事基体校正等方面的应用基础研究，虽起步较晚，但在一次、二次、三次荧光X射线强度理论方程的推导，原级谱测定，基体校正及定量分析程序的编制等方面取得世人瞩目的成果。从20世纪90年代中期起，相继开展化学计量学在XRF研究中的应用、X光透镜的研制与μ－XRF光谱仪的研制、现场XRF分析技术、SRXRF等领域的研究，并均有重要贡献，为XRF学术界所认可。

经过几代人的努力，在仪器制造方面EDXRF谱仪已在国内外市场占据重要份额，低功率的WDXRF谱仪也已批量生产。2001年江苏天瑞公司研制出并批量生产的功率400 W的EDXRF和WDXRF谱仪合为一体的仪器，表明我国仪器厂商已从仿制走向创新之路。国内生产的XRF制样设备和用作WDXRF谱仪的水冷恒温装置，无论在种类上还是在质量方面均已满足常规分析需要。