洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。也就是不论外在之空气条件如何变化,实验室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
根据洁净室洁净度的不同又将其划分为几个级别:
微流控芯片加工实验室通常要求在洁净环境中,实验室中高温炉区、等离子区、测试区等要求达到千级等级;光刻、匀胶、显影工艺要求在百级超净间进行。
实验室组建主要包括洁净室和外设系统的建设。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
1. 天花板系统:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁;
2. 空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等;
3. 隔墙板:包括窗户、门;
4. 地板:包括高架地板或防静电舒美地板;
5. 照明器具:包括日光灯、黄色灯管等;
6. 洁净实验室所需的实验台、试剂柜、更衣柜、鞋柜等。
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