涡流测厚仪测干膜厚度时，影响测量精度的因素是什么

　　 根据国家标GB/T4957-2003《非磁性金属基体上非导电覆盖层厚度测量 涡流法》，下列因素会影响测量精度。

　　1. 覆盖层厚度

　　 测量的不确定度是涡流测厚方法固有的特性。对于较薄的覆盖层（例如：小于25μm），测量不确定度是一恒定值，与覆盖层的厚度无关，每次测量的不确定度至少是0.5μm。对于仪器，这一不确定度为0.5μm~1μm。对于厚度大于25μm的较厚覆盖层厚度的某一比值。对于本仪器，这一不确定度是覆盖层厚度的2%。

　　 对于厚度小于或等于5μm的覆盖层，厚度值应取几次测量的平均值。

　　 对于厚度小于3μm的覆盖层，不能准确测出膜厚值。

　　2. 基体金属的导电率

　　 涡流测厚方法的测量值会受到基体金属导电率的影响。金属的导电率与其材料的成份及热处理有关。导电率对测量的影响随仪器的生产厂和型号的不同有明显差异。本仪器的测量受基体金属导电率的影响很小。

　　3. 基体金属的厚度

　　 每台仪器都有一个基体金属的临界厚度值，大于这个厚度，测量值将不受基体厚度增加的影响。这一临界厚度值取决于仪器探头系统的工作频率的工作频率及基体金属的导电率。本仪器的临界厚度值大约是0.3~0.4 mm。

　　将基体金属厚度低于临界的试样与材质相同、厚度相同的无涂层材料叠加使用是不可靠的。

　　4. 边缘效应

　　 涡流测厚仪对于试样表面的不连续敏感。太靠近试样边缘的测量是不可靠的。如果一定要在小面积试样或窄条试样上测量，可将形状相同的无涂层材料作为基体重新校正仪器。对于本仪器，当测量面积小于150 mm2或试样宽度小于12 mm时，应在相应的无涂层材料上重新校正仪器。

　　5. 曲率

　　 试样曲率的变化会影响测量值。试样曲率越小，对测量值的影响就越大。对于本仪器，当测量直径小于50 mm的试样时，应在相同直径的无涂层材料上重新校正仪器。

　　6. 表面粗糙

　　 基体金属和覆盖层的表面粗糙度对测量值有影响。在不同的位置上进行多次测量后取平均值可以减小这一影响。如果基体金属表面粗糙，还应在涂覆前的相应金属材料上的多个位置校正仪器零点。

　　7. 探头与试样表面的紧密接触

　　 测厚仪的探头必须与试样表面紧密接触，试样表面的灰尘和污物对测量值有影响。因此，测量时应确保探头前端和试样表面的清洁。

　　 当对2片以上已知精确厚度值的校正箔片进行叠加测量时，测得的数值要大于校正箔片厚度值之和。箔片越厚、越硬，这一偏差就越大。原因是箔片的叠加影响了探头与箔片及箔片之间的紧密接触。

　　8. 探头压力

　　 测量时，施加于探头的压力对测量值有影响。本仪器在探头内有一恒压弹簧，可保证每次测量时探头施加于度样的压力不变。

　　9. 探头的垂直度

　　 温度的变化会影响探头参数。因此，应在与使用环境大致相同的温度下校正仪器。本仪器进行了良好的温度补偿，温度变化对测量值的影响很小。