不忘初心，砥砺前行——Park原子力显微镜成长史

　　Park公司简介：

　　 帕克原子力显微镜（Park Systems,以下称Park）是一家专门从事纳米设备测量的公司。Park致力于新技术开发，始终是纳米显微镜和计量学领域的创新者。Park在AFM技术发展中发挥着举足轻重的作用，制造和销售具有全自动化软件且使用方便的高精度原子力显微镜（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超过了一兆（万亿）韩元。

朴尚一（Sangil Park)博士和他的导师Calvin Quate教授

　　为梦想而坚守

　　1985年

　　朴尚一博士所在的课题组（师从Calvin Quate教授）研发出世界首台原子力显微镜

　　1988年

　　朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)

　　1997年

　　朴尚一博士将年销量为1200万美金的PSI以1700万美金的价格转卖给了美国测量设备公司Thermo Micro.

　　1997年

　　朴尚一博士回到韩国，创立PSIA公司，即为后来的Park原子力显微镜公司。

　　1997年4月

　　PSIA(株)成立（资金5亿韩元）

　　1998年7月

　　中小企业厅风险投资企业确认

　　1998年10月

　　被韩国产业资源部评定为工业为主技术开发公司

　　2000年04月

　　韩国科学技术部颁发国家研究奖（NRL）

　　2002年7月

　　获得NT Mark(New Technology)新技术认证

　　2002年

　　消除串扰技术的发展（XE），从而提高了原子力显微镜的反馈和成像

　　2003年4月

　　成立美国分公司（PSIA Inc.）

　　2003年5月

　　被韩国科学技术部选为核心技术开发产业（Nano）

　　2003年10月

　　获得CE标志认证（XE-100, XE-150产品型号）

　　2004年2月

　　获得“工业技术奖”

　　2004年

　　真正非接触模式（True Non-contact Mode）实现无损样品扫描

　　2005年1月

　　被评为2004年韩国十大新技术企业（原子力显微镜技术）

　　2005年7月

　　获得ISO 14001环境管理体系认证

　　2006年1月

　　获得韩国高新技术认证（NEP， New Excellence Product）

　　2007年1月

　　成立日本分公司

　　2007年4月

　　法人名更改为Park Systems Corp.

　　2007年12月

　　被知识经济部评为"世界一流商品生产企业"

　　2008年3月

　　“韩美未来产品经营大奖”

　　2008年7月

　　获得 ISO 9001质量管理体系认证

　　2008年8月

　　XE-3DM：用于高分辨率3D测量的全新3D原子力显微镜

　　2008年11月

　　XE-Wafer: 用于在线晶圆检测和计量的自动化工业AFM

　　2009年5月

　　通过了Hynix海力士半导体的"Preliminary Performance Test"

　　2009年6月

　　荣获彼得.德鲁克创新奖

　　2010年1月

　　获得国家核心技术奖（工业型原子力显微镜技术）2010-11号

　　2010年12月

　　韩国十大新技术奖（XE-3DM技术）-知识经济部

　　2010年12月

　　韩国技术大赏银奖（XE-3DM技术）（经济部长奖）

　　2011年

　　Park NX10新品出市：全新产品系列的最优原子力显微镜

　　2012年8月

　　NanoKorea 2012知识经济部长奖

　　2012年8月

　　新加坡分公司成立

　　2012年10月

　　Park NX-Wafer: 全自动晶圆检测原子力显微镜

　　2012年

　　Park NX20新产品：用于故障分析和大型样品扫描的领先纳米计量工具

　　2013年6月

　　被选为 INNO-BIZ(技术创新中小企业) (13.06.20~16.06.19)

　　2013年

　　Park NX-HDM: 实现硬盘介质和半导体衬底的全自动化缺陷检查和亚埃米级表面粗糙度测量

　　2014年

　　Park SmartScan: 通过Park划时代创新自动成像技术，实现SmartScan软件的三次点击成像

　　2015年2月

　　与IMEC达成JPD协议以开发用于半导体制造业的纳米级原子力显微镜计量学

　　2015年5月

　　被选为国家产业核心技术事业项目 (2015.06~2018.05)-韩国产业通商资源部

　　2015年8月

　　首次在KOSDAQ（科斯达克）评估信息中获得AA等级技术评估，技术保证金

　　2015年9月

　　被指定为国家核心技术（原子力显微镜制造技术） -韩国产业通商资源部

　　2015年12月

　　在科斯达克（KOSDAQ）上市，首次公开募股

　　2015年6月

　　NX-3DM:失效分析，质量监控和工艺改进的最佳原子力显微镜

　　2015年

　　Park NX-Hivac: 用于故障分析和气压敏感材料研究的高真空原子力显微镜

　　2016年6月

　　荣获第8届韩国KOSDAQ奖"最佳下一代企业奖"

　　2016年6月

　　被选为INNO-BIZ(技术创新中小企业) (A等级，16.06.20~19.06.19)

　　2016年7月

　　2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技术支持领先奖”

　　2016年12月

　　产业通商资源部颁发2016年"第15届产业技术奖"

　　2016年

　　Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

　　2017年2月

　　成立中国台湾分公司

　　2017年3月

　　成立欧洲分公司

　　2017年

　　Park NX12: 多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求

　　2018年5月

　　2018年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业

　　2018年6月

　　第十届韩国科斯达克（KOSDAQ）大赏最优秀技术企业奖

　　2018年9月

　　中国北京分公司成立

　　2018年11月

　　科学技术信息通信部，产业通商资源部颁发2018年十大纳米技术奖

　　2018年12月

　　入选2018年最有前途半导体技术解决方案企业

　　2019年7月

　　再次被选为2019年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业

　　2019年7月

　　获NanoKorea 2019年韩国国务总理表彰奖

　　2020年2月

　　Park NX-TSH: 专为超大纳米平板显示器测量设计的自动化原子力显微镜

　　2020年3月

　　IMEC与Park公司签署第二期JDP协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案

　　2020年5月

　　Park原子力显微镜完成其对Molecular Vista的股权投资

　　2021年1月

　　2020年福布斯亚洲10亿美元200强企业榜单 -Park原子力显微镜公司上榜

　　2021年2月

　　Park SmartLitho™-最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件

　　2021年4月

　　在科斯达克（KOSDAQ）突破一兆（万亿）韩元的关口

　　Park研发之路

　　"前世今生"

　　近40年间，朴尚一博士致力于原子力的发展。1985年，朴尚一博士在斯坦福大学Calvin Quate教授课题组攻读博士学位期间，亲身参与并见证了首台AFM的诞生。该成果发表在1986年3月的“物理评论快报”上，该成果的共同作者单位为Gerd Binnig(IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)。

　　 1988年，朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为全球最初的商业化AFM公司在硅谷获得了巨大成功，公司仅用三年时间，销售业绩就达到了595万美金，相比于创业之初的1988年，业绩实现了超过10倍的暴风式增长。1997年， PSI以1700万美金的收购价格被美国测量设备公司Thermo Micro全资收购。

　　 1997年，朴尚一博士回到韩国并于当年成立了PSIA公司。伴随着半导体产业的崛起，PSIA公司着力于开发适用于半导体产业的计量型原子力显微镜。1998年，PSIA公司推出了首款可以对8英寸Wafer进行缺陷检测的原子力显微镜"SM5-200"。

　　 2000年，PSIA公司根据LCD产业的需求，推出了世界上首台不用破片的大尺寸LCD产业用原子力显微镜--600X720 mm液晶显示器(LCD)。该产品首次实现了原子力显微镜检测的不破片测量，并在同年得到了三星电子的评测认可。

　　 但在2001年，由于受制于美国的贸易政策，PSIA公司不能从美国的公司采购任何主要的美国生产的产品备件，导致公司生产一度停滞。

　　 “求人不如求己！”

　　 面对美国一些贸易壁垒的经营限制条例，朴尚一博士决定借此机会让PSIA成为完全的技术独立者。在随后的漫长时间里，他致力于研发完全本土化的产品。历尽不为人知的众多曲折后，PSIA最终推出了世界上首台扫描器分离的原子力显微镜Park XE-100，并且将非接触模式的算法进行了优化升级，一举解决了传统非接触模式不能进行高分辨扫描的弊端。PSIA推出的非接触模式成像，在获得高分辨率的照片的同时，且使探针寿命得到了显著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名为Park Systems (中文名：帕克原子力显微镜，以下称为Park)。

　　 随后Park还开发了3D原子力显微镜测量技术，升级款的原子力显微镜可以测量类似TSV样品的侧壁形貌。此项技术问世后，欧洲领先的微电子技术独立研发中心IMEC向Park抛来合作的橄榄枝，并在2015年和Park签署合作意向书，以便在半导体工艺先进制程研发领域建立长期合作伙伴关系。

　　总结语

　　 Park公司成立至今，从包括朴尚一博士在内的首次创业的几个合伙人，发展到现在拥有400人的全球公司，实现了质的蜕变。截至目前，Park公司市值已超过10亿美金，在全球建立了9个分公司和代表处，并于2017年在中国北京成立了韩国帕克服份有限公司北京代表处……毋庸置疑，随着市场地不断开拓，Park公司凭借着与时俱进的研发技术，已经成为业界领先的优秀企业。接下来Park即将推出一系列新品原子力显微镜，并将于2024年扩迁公司总部，以更好地推进公司的运营和发展。Park将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，敬请期待！