王曦院士：科技创新要有全球化视野

王曦

　　“做科学家，尤其是应用学科的科学家，必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来，通盘去想，去布大局，做大事。”

　　在日前接受《中国科学报》记者采访时，身为中科院院士、中科院上海微系统所所长的王曦如是说。

　　同时，他认为，要以创新驱动发展，推动科技和经济紧密结合，当前必须善用全球化资源，大力引进海外科技创业人才。

　　作为十八大代表，在认真学习十八大报告之后，王曦对报告里“实施创新驱动发展战略”中的一段印象特别深刻：“要坚持走中国特色自主创新道路，以全球视野谋划和推动创新，提高原始创新、集成创新和引进消化吸收再创新能力，更加注重协同创新。”

　　王曦表示，原始创新、集成创新和引进消化吸收再创新能力、协同创新，以前都曾有过表述，但“以全球视野谋划和推动创新”是一个新提法，非常重要。“我们现在科技创新不足，虽然有很多探索，比如促进成果转化、产学研合作、企业创新制度建设等，但这还不够。我们必须要有全球化视野。”

　　他透露说，上海现在已经在尝试引进一些海外科技创业人才，这些人才在科技和经济的结合、科技促进经济发展这一块，有着更强的能力和经验。

　　“他们很多人不仅有着科研能力，同时也在国外大企业做过，参与过国外资本市场的运作，非常有经验。而这些，恰恰是国内相对还比较薄弱的环节。”王曦说。

　　王曦还告诉记者，在他所从事的信息领域，上海已经在引进一批“传感器及超越摩尔集成电路”方面的海外创新创业人士，上海市政府对此非常重视，正在酝酿一个重大专项，以加速推动这方面的产业化进程。

　　早在1996年，王曦就已作为“洪堡学者”在德国罗森多夫研究中心接触到了世界上最先进的离子注入技术。

　　1998年，王曦回国竞聘成为离子束国家重点实验室主任，同时担任“高端硅基SOI材料”制备研究项目的负责人。

　　“离子注入是制备SOI材料的工具和手段，我对离子注入有很深刻的了解，这样就非常容易把它应用在SOI材料上。”王曦解释说。

　　SOI，即绝缘体上的硅，是国际公认的21世纪微电子新技术之一和新一代硅基材料，在低压低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面有着重要应用。

　　高端硅基SOI制备中的关键技术，正是王曦钻研多年的“离子注入”。

　　“为什么不利用自己的优势开发产品，把这个在研究所里埋藏20多年的技术推向市场？”于是，“让SOI材料走出实验室”成了王曦奋斗的目标。

　　2001年7月，中科院上海微系统所联合北京盈富泰克投资发展有限公司、上海中科高科技工业园发展有限公司等，成立上海新傲科技股份有限公司，致力于将SOI材料产业化。

　　除了将中科院上海微系统所积累近20年的具有自主知识产权的SOI专有技术全部投入外，在王曦的带领下，研究所SOI课题组主要技术骨干全部进入该公司。

　　2002年4月底，王曦和他的团队仅用5个多月的时间，就在新傲公司建成国内第一条具有国际先进水平的SOI生产线。7月2日，第一批光润无瑕、晶莹剔透的SOI圆片材料问世。

　　美国硅谷《半导体商业新闻》惊呼：中国“突然”出现了一个现代化的SOI圆片工厂。

　　自成立以来，公司先后承担了“863”计划、“973”计划等各项重大研发和产业化项目。同时，王曦运用他专长的离子注入技术，带领团队在关键技术上取得一系列重大创新，其中申请国家发明ZL32项、已获授权16项，并获2006年度国家科技进步奖一等奖。

　　如今，新傲公司作为国内唯一、国际屈指可数的SOI生产基地，总资产已经由10年前的1300万元发展到近10亿元。

　　不过，对王曦而言，SOI产业化的成功已成为“过去时”。

　　现在，王曦的眼光已投向更大的市场——将新傲打造成中国最好的外延服务商，同时在SOI领域谋求差异化生产。

　　当老牌的法国SOITec公司只针对英特尔等芯片制造公司提供SOI时，王曦已把目光投向汽车电子、传感器等SOI硅片的新应用领域。