定量分析的样品必须磨平抛光、清洗干净。
若样品不能进行表面磨平抛光(将影响分析精度)处理应事先说明。
为测试方便和节约机时，样品应先切成小薄片，不能切割制样，必须先与测试人员商量。
应先标记好分析面上的测试点，无标记测试位置时，测试时只选有代表性、较平整位置测试。液体样必须先浓缩干燥。
分析的样品必须是在高能电子轰击下物理和化学性能稳定的固体、不分解、不爆炸、不挥发、无放射性、无磁性。
送样时最好注明样品可能包含什么元素。样品必须喷涂一层碳膜。
