发布时间:2022-03-02 20:47 原文链接: 角加速度计的未来发展

  对角加速度传感器的研究目前朝两个方向发展。一个发展方向是采用MEMS技术对传感器进行微型化,MEMS角加速度计能够将传感部件与检测控制电路集成在一起,从而它的体积小、重量轻、性能可靠。这种角加速度计已经成功应用于硬盘防冲击、防振动前向反馈控制系统中,并且在汽车驾驶安全控制、卫星姿态控制、飞弹运动控制等领域有着很大的潜在市场。目前。国内外对MEMS角加速度计的研究远远没有MEMS线加速度计那么广泛,还不能得到高分辨率的角加速度传感器。另一个发展方向是采用传统加工方法应用新型的测量原理,如超导效应,米提高角加速度计的分辨率,从而将其应用于空间实验中的重力梯度分析等领域。这种传感器虽然能得到极高的分辨率,但它的体积大,制造费用昂贵,角加速度测量范围以及频率带宽较窄。目前.牲卫星的姿态及防抖控制、天线的稳定控制、机器人手臂运动控制以及一些测试系统动力学控制等领域,要求重量轻、体积小、分辨率高、测量范围广、频带宽的角加速度计。