日本产综研开发出了能够有选择地以高灵敏度（1分钟内2ppm）检测出半导体制造工艺中用到的含氟蚀刻气体的检测剂，并且试制出了使用这种检测剂的小型检漏仪。这种检测剂还可以用来检测更高性能的新一代含氟蚀刻气体和其他含卤素气体，作为只对可能危害人体的气体成分做出反应的检漏技术，有望得到广泛应用。
中新网兰州6月5日电(闫姣)中国航天科技集团有限公司五院510所(以下简称“航天510所”)5日披露，在神舟十四号飞船中，该所承担了结构与机构、热控、测控、仪表与照明、环控生保等5个重要分系统中共计4......
氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过......
日本产综研开发出了能够有选择地以高灵敏度（1分钟内2ppm）检测出半导体制造工艺中用到的含氟蚀刻气体的检测剂，并且试制出了使用这种检测剂的小型检漏仪。这种检测剂还可以用来检测更高性能的新一代含氟蚀刻气......