发布时间:2021-05-07 20:31 原文链接: 扫描电子显微镜成像分辨率

  扫描电镜是高能电子散射固体材料,可获得许多特征信号!

  微观成像是扫描电镜基本功能,要求高分辨,so可为其他特征信号分析提供精确导航!

  sem一般标配se探测器,用se信号获得高分辨像,且se信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。

  why

  se

  not

  other?

  比靠斯:在电子束样品作用区,可能只有se取样面积与电子束斑尺寸最接近,且对其尺寸敏感!

  敏感到啥程度?

  例如样品是黄金,se1的取样面积和束斑面积相同。

  bse也是常用成像信号,但对于黄金样品,电子探针束斑直径1nm

  或

  2nm,其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近,大多情况,其分辨率和加速电压相关较多。

  总结:提到扫描电镜分辨率,大概就是在说这台电镜的性能,用se成像分辨率是最为精确的表达,主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。

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