洁净室中无尘车间

　洁净室中无尘车间地板、墙面、天花板材料选购的知识

　　1、对于半导体工业而言，无尘车间是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

　　2、无尘车间其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆盖会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都会覆盖，乙烯基。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。

　　3、而无尘车间的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵，但铝却可以保护墙面不被空气所氧化，可是却易受酸性气体的侵蚀，而避免的方法是使用电镀，便铝表面增厚，不易氧化，再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。

　　4、另外，无尘车间zui怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。

　　例如层流式 C/R 而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，这类型的天花板优点为，放置方式并没有严格的限制。

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　　无尘车间是指将一定空间范围内空气中的尘埃微粒、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

　　亦即是不论外在空气条件如何变化，其无尘车间内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

　　无尘车间zui主要之作用在于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的无尘环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间净化车间。