低能离子辐照实现晶圆级大面积超高线密度光栅器件制备
6月4日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室在《自然-通讯》杂志上在线发表了题为《采用反向外延技术实现晶圆级亚50nm周期的光栅器件制备》（Realization of wafer-scale nanogratings with sub-50 nm period through vacancy epitaxy）的研究成果，该研究提出了一种制备大面积超高线密度光栅的技术方法，并实现了晶圆级大面积光栅器件制备。 超高分辨率光栅元件的研制是同步辐射光源发展更高精度谱学技术的关键之一。光栅器件的能量分辨率主要取决于光栅的线密度和衍射级次，线密度越大，能量分辨率越高。而传统的纳米加工方法通常只能制备小于5000线/毫米的光栅结构。低线密度的光栅元件已成为同步辐射光束线能量分辨率提升的瓶颈。上海微系统所研究员欧欣致力于发展“万能离子刀”异质集成与微纳制备技术，在国际上率先提出了基于低能离子辐照空位自组装的反......阅读全文
低能离子辐照实现晶圆级大面积超高线密度光栅器件制备
6月4日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室在《自然-通讯》杂志上在线发表了题为《采用反向外延技术实现晶圆级亚50nm周期的光栅器件制备》（Realization of wafer-scale nanogratings with sub-50 nm period th
光栅光谱仪是重要的分光器件
光栅光谱仪作为重要的分光器件，它的选择与性能直接影响整个系统性能。 光谱仪是指利用折射或衍射产生色散的一类光谱测量仪器。光栅光谱仪是光谱测量中zui常用的仪器，它由入射狭缝、准直球面反射镜、光栅、聚焦球面反射镜以及输出狭缝构成。 它是当一束复合光线进入单色仪的入射狭缝，首先由光学准直镜汇聚成平行
光栅光谱仪光栅方程
反射式衍射光栅是在衬底上周期地刻划很多微细的刻槽，一系列平行刻槽的间隔与波长相当，光栅表面涂上一层高反射率金属膜。光栅沟槽表面反射的辐射相互作用产生衍射和干涉。对某波长，在大多数方向消失，只在一定的有限方向出现，这些方向确定了衍射级次。如图1所示，光栅刻槽垂直辐射入射平面，辐射与光栅法线入射角为
什么是光栅常数和光栅光谱
光栅常数：光栅的重要参数。是光栅两刻线之间的距离，用d表示。光栅光谱：光栅光谱仪，是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影，或电脑化自动显示数值仪器显示和分析，从而测知物品中含有何种元素。光栅光谱仪被广泛应用于颜色测量、化学成份的浓度测量或辐射度学分析、膜厚测
光栅光谱仪如何选择光栅？
光谱分析方法作为一种重要的分析手段，在科研、生产、质控等方面，都发挥着极大的作用。无论是穿透吸收光谱，还是荧光光谱，拉曼光谱，如何获得单波长辐射是不可缺少的手段。 光栅光谱仪，是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影，或电脑化自动显示数值仪器显示和分析，从而测
光栅光谱仪光栅选择方法
光栅作为重要的分光器件，它的选择与性能直接影响整个系统性能。为更好协助各位使用者选择，在此做一简要介绍。 光栅分为刻划光栅、复制光栅、全息光栅等。刻划光栅是用钻石刻刀在涂薄金属表面机械刻划而成；复制光栅是用母光栅复制而成。典型刻划光栅和复制光栅的刻槽是三角形。全息光栅是由激光干涉条纹光刻而成。
光栅光谱仪光栅的选择
光栅光谱仪光栅的选择光谱分析方法作为一种重要的分析手段，在科研、生产、质控等方面，都发挥着极大的作用。无论是穿透吸收光谱，还是荧光光谱，拉曼光谱，如何获得单波长辐射是不可缺少的手段。由于现代单色仪可具有很宽的光谱范围（UV- IR），高光谱分辨率（到0.001nm）,自动波长扫描，完整的电脑
光栅方程
光栅方程反射式衍射光栅是在衬底上周期地刻划很多微细的刻槽，一系列平行刻槽的间隔与波长相当，光栅表面涂上一层高反射率金属膜。光栅沟槽表面反射的辐射相互作用产生衍射和干涉。对某波长，在大多数方向消失，只在一定的有限方向出现，这些方向确定了衍射级次。如图1所示，光栅刻槽垂直辐射入射平面，辐射与光栅法线入射
衍射光栅
光电系的同学们对衍射光栅应该不陌生，例如在光通信行业中，光栅波导负责将不同波长的光耦合进入光纤，随着技术的进步，光栅可以直接刻在光纤断面上。而在增强现实（Augmented Reality，简称AR）领域，衍射光栅又有了新的应用——光波导，利用光栅衍射原理达到了传播图像，耦入眼睛的目的。为了研究
如何选择的光栅单色仪的光栅
光栅单色仪比较适用于单色光的产生、光谱分析和光谱特性测量等方面，是一种常用的分光仪器，其工作原理是：光源或照明系统发出的光束均匀地照亮在入射狭缝S1上，S1位于离轴抛物镜的焦平面上，光通过M1变成平行光照射到光栅上，再经过光栅衍射返回到M1，经过M2会聚到出射狭缝S2，由于光栅的分光作用，从S2出射