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“用于计量的微纳集成器件关键技术研究”课题通过验收

3月28日,由中国计量科学研究院(以下简称“中国计量院”)承担的国家科技支撑计划项目“微纳技术计量标准和物质研究”项目课题“用于计量的微纳集成器件关键技术研究”顺利通过由国家质检总局组织的专家组验收。 课题验收会上,清华大学金国藩院士、北京航空航天大学姚骏恩院士等技术专家组成员听取了课题组的报告,审阅了验收材料,经质询和讨论,一致认为课题组成功实现了“单个量子化霍尔器件”、“量子化霍尔阵列器件”、“约瑟夫森结阵器件”以及“两维电子气量子阻抗器件”等多种微纳量子器件和集成器件的自主研制。图为“用于计量的微纳集成器件关键技术研究”课题验收会议现场 据课题负责人,中国计量院研究员李劲劲介绍,以量子物理为基础的新一代计量基准正在逐步取代实物基准成为各类量值溯源的源头,而许多量子计量基准的核心正是微纳器件。但是截至目前,我国部分基标准所采用的高性能核心器件仍依赖于国外进口。为了保证我国计量体系的独立性、建立我国核心量子器件的自......阅读全文

AFM微纳加工技术

 微纳加工技术随着器件小型化和高集成度的快速发展,微电子工业的芯片制造工艺逐渐向10 nm 甚至单纳米尺度逼近时,传统的电子束曝光(electron beam lithography,EBL)技术和极紫外光刻(extreme ultraviolet lithography,EUV)技术已难以满足未来

微纳3D打印技术制造微流控芯片

  微流控芯片是一门在微米尺度下研究流体的处理与操控的技术,微流控技术从最初的单一功能的流体控制器件发展到了现在的多功能集成、应用非常广泛的微流控芯片技术,在分析化学、医学诊断、细胞筛选、基因分析、药物输运等领域得到了广泛应用。相比于传统方法,微流控技术具有体积小、检测速度快、试剂用量小、成本低、多

上海微系统所在瞬态可溶微纳光学技术方面取得进展

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室陶虎课题组联合复旦大学附属华山医院神经外科以及南昌市中西医结合医院医学检验科的科研人员基于可控溶解生物材料,结合光学技术和绿色微纳加工技术,在“瞬态可溶电子技术”的基础上,于国际上率先提出“瞬态可溶微纳光学技术”的概念,并将其完美地应用到

光学微操控技术是微纳尺度下研究物体运动的关键技术

  光学微操控(光镊)技术作为微纳尺度下研究物体运动及其相互作用的关键技术,具有重要的应用价值,因其具有非接触、无损伤、精度高等优点,在物理、化学、微机械、生物大分子互作等领域应用广泛。光对物体的操纵依赖于光与物体之间的动量传递,线动量的传递可实现物体的捕获与平动,而角动量的传递则可导致物体的旋转。

一文盘点当前微纳加工技术

  微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广、多学科交叉融合,其最主要的发展方向是微纳器件与系统(MEMS和NEMS)。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术,研制微型传感器、微型执行器等器件和系统

中国科学家研发出微纳观测新技术

  近日,中科院沈阳自动化研究所科研人员研发出具有实时视觉反馈能力的扫描微透镜超分辨成像技术(SSUM),该技术无需荧光染色和激光激发,可以在自然条件下打破光学衍射定律所限制的观测极限,实现了生命和非生命样品的超分辨实时观测。该项成果对实现纳米尺度生命物质和非生命物质的动态追踪,提升纳米机器人的功能

微纳颗粒独家技术:圆度球度计算模块

开发背景       石油天然气行业:支撑剂的作用在于充填压裂产生的人工裂缝,在地层形成具有高导流能力的油气渗流通道,支撑剂的性能和在不同地层条件对支撑裂缝的渗透率的影响差异较大。支撑剂的球度和圆度对支撑剂的性能评价有很重要的影响,是正确选择和使用支撑剂的基础之一。         一直以来,依据中

微纳技术计量标准和标准物质研究项目启动

  3月6日,“十二五”国家科技支撑计划重点项目——微纳技术计量标准和标准物质研究启动会在中国计量科学研究院召开。该项目是中国计量院“十二五”期间启动的第二个科技支撑计划项目。   据了解,项目组在前期调研分析基础上制定了微纳结构特性量值溯源体系发展路线图。据此,该项目将在微纳几何结构计

微纳制造与测试技术 联合实验室成立

  4月7日,微纳制造与测试技术国际合作联合实验室在西安交通大学曲江校区揭牌成立。据悉,该实验室将聚焦国际学术前沿,服务国家重大需求,整合国际优势资源,通过微纳制造科学与技术、微纳传感与测试技术、微纳功能材料与器件、微纳材料服役行为等四个领域的国际合作,力争实现原创性科学技术的重大突破,汇聚和培养一

沈阳自动化所在微纳制造和微纳生物领域取得系列进展

  信息-生物-纳米是微纳制造产业和单分子生命科学研究的热点。其中微纳米观测、操控和制造技术是支撑微纳米科技走向应用的基础,是促进信息技术与生命科学实现跨越式发展的使能技术。中国科学院沈阳自动化研究所微纳米组长期以来开展多学科交叉研究,推进信息、生物、纳米技术的融合与发展,在微纳制造和微纳生物领域取