紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力
记者日前从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队已自主研制出一种新型紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备1/3，将有力推进我国芯片加工等微纳级结构器件制造水平迈上新的台阶。 光刻机是微纳图形加工的专用高端设备。光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。“对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。”胡松表示，在国家自然基金的连续资助下，光电所研究团队完成了基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利20余项。该技术在光刻机中的成功应用，突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障，未来可广泛应用于微纳流控芯片加工、微纳光学元件、微纳光栅等微纳结构器件的制备，目前该设备已完成初试和小批生产。......阅读全文
紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力
记者日前从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队已自主研制出一种新型紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备1/3，将有力推进我国芯片加工等微纳级结构器件制造水平迈上新的台阶。 光刻机是微纳图形加工的专用高端设备。光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，这套设备采用新型纳米对准
新型光刻机提升微纳实用制造水平
中科院光电技术研究所微电子专用设备研发团队，近日自主研制成功紫外纳米压印光刻机。该机器将新型纳米压印高分辨力光刻技术与紫外光刻技术有机结合，成本仅为国外同类设备的1/3，并在同一加工平台上实现了微米到纳米级的跨尺度图形加工，使我国微纳实用制造水平迈上新的台阶。 光刻机是实现微纳图形加工的专用高
21年来首次！佳能扩产光刻机设备！
据日经新闻报道，佳能计划投资500亿日元提高光刻机产量，将其在日本的半导体制造设备产量翻一番。报道称，佳能将在日本东部栃木县新建一座半导体设备厂，目标将当前产能提高一倍，总投资额超过500亿日元（约3.45亿美元），工厂计划在2023年动工，2025年开始运营。光刻是半导体电路形成不可或缺的核心技术
光电所研制出实用深紫外光刻机
近日，中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功波长254nm的实用深紫外光刻机（Mask aligner），光刻分辨力达到500nm。 Mask aligner因使用方便、效率高、成本低，一直是使用面最广、使用数量最多的一种光刻设备。在现有的微纳加工工艺中，光刻所采用的波段是决定
光电所在基于纳米压印技术纳米球碗阵列制备中取得进展
纳米结构由于在众多领域的应用潜能引起了越来越多的关注，如光催化、生物传感、电磁学和超疏水材料等方面。目前先进的纳米结构加工技术包括电子束曝光、聚焦离子束直写、探针直写技术等。这些加工方法可以制备出高分辨率的纳米结构，但是较低的加工效率和高额的加工成本使得大规模生产仍然是一个巨大挑战。 中国科学
光刻机的紫外光源
曝光系统最核心的部件之一是紫外光源。 常见光源分为: 可见光：g线：436nm 紫外光（UV），i线：365nm 深紫外光（DUV）,KrF 准分子激光：248 nm, ArF 准分子激光：193 nm 极紫外光（EUV），10 ~ 15 nm 对光源系统的要求 a.有适当的波长。
纳米压印重大项目入驻北京纳米科技产业园
在北京市科委的积极推动下，8月16日，美国工程院院士、普林斯顿大学终身教授周郁团队纳米压印LED图形衬底产业化项目与北京纳米科技产业园签订意向入驻协议，这是继纳米绿色印刷、超顺排碳纳米管项目入园之后的又一重量级项目，为北京纳米科技产业园建成全国纳米科技创新高地书写新的华章。北京市科委副主任张继红
欧盟纳米压印光刻技术实现低成本批量生产感应薄膜
纳米结构传感器阵列（NSA），以其在单一检测装置有效检测样品中分子或分子一部分的大面积多参数传感优势，而在制药业、环保等其它行业得到广泛应用。但直到目前，其实验室规模小批量生产导致相对较高的制造成本，一定程度上限制了新兴技术在更大范围内的商业化推广应用。欧盟第七研发框架计划（FP7）提供490
单面/双面掩模对准光刻机的相关知识
单面/双面掩模对准光刻机支持各种标准光刻工艺，如真空，硬，软接触和接近式曝光模式，可选择背部对准方式。此外，该系统还提供其他功能，包括键合对准和纳米压印光刻（NIL）。EVG610提供快速处理和重新加工，以满足不断变化的用户需求，转换时间不到几分钟。其先进的多用户概念适合初学者到专家级各个阶层用户，
精密仪器“印”出来 纳米压印技术可应用于高端制造
半导体工艺替代传统机床 在位于城阳区兴阳路上的青岛博士创业园里，宛天巍手里拿着一个巴掌大小的展示板，给客户展示精密仪器印刷术的成果——亚毫米级精密零件。在这个展示板上，精致地排列着各种很小的零部件，看起来只有小拇指甲的十分之一大小。“这些都是我们用纳米压印技术方法制造的超精密手表零件，按照传统