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随着对LED需求的增加,牛津仪器等离子技术在高亮度LED制造业发挥着越来越重要的地位。位于德国Landshut 市的Optogan集团，作为LED制造业的领先者已向牛津仪器订购多套刻蚀及沉积的复合设备，包括PlasmaProTM System133 ICP 和 PlasmaPro 800Plus RIE etch systems, 还有PlasmaPro 800Plus deposition system。 该PlasmaPro System133可以处理高达27 x 2" 的氮化镓蓝宝石晶片并具有大规模批处理能力，同时PlasmaPro 800Plus具有最大的灵活性来处理43 x 2" 晶片上进行等离子体刻蚀和沉积的问题，采用紧凑型、开放式样品加载系统。 为了全球性的应用(包括固态照明), Optogan集团正在开发和生产高亮度LED,并采购上述设备,安装在位于Landshut 市高产量的生产......阅读全文
牛津等离子部生产出PlasmaProTM NGP®1000 HBLED等离子体刻蚀和沉积设备，为HBLED制造业带来极大的好处。业界领先的大规模生产能力生产从61 x 2"到 7 x 6"尺寸的晶片以高品质的设备性能和产量相结合，意味着牛津仪器能够为客户提供一种特殊的HBLED生产。 NGP1
为进一步的扩大和促进研究能力，美国中西部纳米电子研发中心(MIND)采购了牛津仪器公司等离子技术部的等离子蚀刻和沉积两套设备。该FlexALâ原子沉积(ALD)和System100 ICP等离子蚀刻设备将安装在Notre Dame的纳米加工设施里，位于美国印第安纳州Notre Dame大