氦质谱检漏灵敏度分析方法
对真空漏率要求较高的大容器检漏一般采用氦质谱真空检漏,此时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。要充分发挥检漏仪的能力,以求得尽可能高的检漏灵敏度,必须对辅助真空系统进行合理设计。下面通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在本套真空系统中的连接方式。 通过对检漏仪的调节,能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速Sd保持一致,Qmin为系统参数一般不变,从式(1)和式(2)可看出qmin的高低取决于S1和S2的大小。在分流状态,有S2>>S1,即qmin1<qmin2。在次级泵启动进入稳定状态后,一般可将前级泵处节流阀关闭,即S1=0,由式(1)可知,此时qmin1=Qmin。而相同条件下,次级泵处阀门却不能完全断开,即S2>0,由式(2)可知,qmin2>Qmin,比较有qmin1<qmin2。在需对大容器抽高真空并要求检漏时,检漏仪接在前级侧时的系统检漏灵敏度高于接在高真空侧的......阅读全文
氦质谱检漏灵敏度分析方法
对真空漏率要求较高的大容器检漏一般采用氦质谱真空检漏,此时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。要充分发挥检漏仪的能力,以求得尽可能高的检漏灵敏度,必须对辅助真空系统进行合理设计。下面通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在本套真空系统中的连接方式。 通过对检漏仪的调节,能使其在
氦质谱检漏灵敏度分析
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力,以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式,可以达到检漏目的的连接方式有两种。
氦质谱检漏灵敏度分析
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力,以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式,可以达到检漏目的的连接方式有两种。
氦质谱检漏仪的氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质
氦质谱检漏仪氦质谱检漏方法描述
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法
1、尽量开大节流阀。 2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。 3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。 4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。
氦质谱检漏仪检漏方法
氦质谱检漏仪氦质检漏方法 氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽
喷吹法氦质谱真空检漏方法与灵敏度
深圳威士达真空系统工程有限公司 氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法, 如图1 和图2 所示。 喷吹法氦质谱真空检漏 一个以一定速度移动的喷枪通过喷咀将具有一定压力的氦气(或混合气)