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MEMS气体传感器的设计与工艺

目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测,该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点,MEMS技术为解决MOS气体传感器的该类问题提供了强有力的有效途迳和方案。MEMS技术的应用也为该类传感器的集成化提供坚实的基础。毫无疑问,基于MEMS的设计方案将成为未来气体传感器的主要发展方向之一。目前,市场上以单晶硅材料为衬底,非硅材料为敏感层的MEMS气体传感器最为常见,现就市场常见MEMS气体传感器类型加以介绍:MEMS电导型气敏传感器这种气敏传感器的敏感材料是金属氧化物半导体或导电聚合物。当这些材料暴露于被测气体中,气体会与它们发生作用,引起电导率或电阻率的变化,产生包含气体成分和浓度的电信号,经过信号处理电路处理后,即可识别气体的成分和浓度。使......阅读全文

气体传感器定义

  气体传感器是指能将被测气体的类别、浓度和成分转换为与其成一定关系的人们更易识别的信号(如电信号、声信号、光信号、数字信号等)的装置或器件,用来提供有关待测气体的存在及其浓度大小的信息。  气体传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制等,现

什么是气体传感器

  气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。探测头通过气体传感器对气体样品进行调理,通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理仪表显示部分。   气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置!气体传感器一般被归为化学传感器的一类

气体传感器的优点

  红外气体传感器及仪器应用广泛,适用于监测近乎各种易气体。具有精度高、选择性好、可靠性高、不中毒、不依赖于氧气、受环境干扰因素较小、寿命长等显著优点。并在未来逐步成为市场主流。

气体传感器的缺点

  由于正在处于起步阶段,技术壁垒高,市场占有率低,规模化生产程度低,造成成本高,基本在上千元左右。

如何使用气体传感器?

气体传感器通常体积小,操作方便,但是在使用过程中,为了使其充分发挥检测性能,还有些问题需要大家注意。总结起来,主要有以下四点:   对经常使用的气体传感器,要注意它的使用寿命,不要过期使用。一般来说,在便携式传感器中,LEL传感器的使用寿命大约为三年左右;光离子化检测仪的寿命为四年或更长一些;电化学

气体传感器的概述

  气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置!气体传感器一般被归为化学传感器的一类,尽管这种归类不一定科学。  “气体传感器”包括:半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器、固体电解质气体传感器等

气体传感器的使用

  气体传感器广泛应用于工业领域,用以使人员和设备免受危险气体导致的直接和间接威胁。无论是使用便携式气体报警器还是固定式气体检测仪,对于确保设备在其使用年限内安全运转有可能造成的巨大成本问题,用户必然有着深切体会。  电化学传感器的工作原理  小小的传感器中,是被水性凝胶电解质(一般是硫酸:H2SO

气体传感器技术阐述

传感器技术虽然存在不同,但传感器技术的原理大多相通。前面的文章中,小编对光电传感器技术有所介绍。本文中,小编将对气体传感器技术予以讲解。如果你对传感器技术具有兴趣,不妨继续往下阅读哦。一、前言从技术的角度分类,气体传感器主要可分为:半导体型气体传感器、电化学型气体传感器、PID气体传感器、光

气体传感器的发展

  一、着重于新气敏材料与制作工艺的研究开发  对气体传感器材料的研究表明,金属氧化物半导体材料ZnO,SiO2,Fe2O3等己趋于成熟化,特别是在C比,C2H5OH,CO等气体检测方面。这方面的工作主要有两个方向:  1、是利用化学修饰改性方法,对现有气体敏感膜材料进行掺杂、改性和表面修饰等处理,

气体传感器的应用

  应用于建设环境物联网。气体传感器在有毒、可燃、易爆、二氧化碳等气体探测领域有着广泛的应用,环境问题一直是全国乃至全世界最关心的话题之一,人类赖以生存的环境一直在遭受着严重的破坏,如何保护环境就需要建立环境监管机制,建设物联网成为必要,而气体传感器作为环境检测的必备传感器将有助于建设环境物联网。