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什么是微波等离子体?

由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,其运动主要受电磁力支配,并表现出显著的集体行为。它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。......阅读全文

什么是微波等离子体?

由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,其运动主要受电磁力支配,并表现出显著的集体行为。它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速

什么是等离子体

  如果连续为物质提供能量,其温度则会升高,并且物质状态会从固态变为液态,然后过渡为气态。如果继续提供能量,现有的原子壳层则会发生分裂,并产生带电粒子(带负电荷的电子和带正电荷的离子)。这种混合物被称作等离子体或者“物质的第四态”。简而言之:在提供能量的情况下物质状态的变化:固态

微波等离子体合成原理

首先我们要知道什么是微波等离子体!微波等离子体大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。

微波等离子体的优势

1.有较高的电离和分解程度 2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高。3.能在高气压下维持等离子体。4.没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿

微波等离子体的特点

1.有较高的电离和分解程度 2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高。3.能在高气压下维持等离子体。4.没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿

微波等离子体的传统特点

1.有较高的电离和分解程度 2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高。3.能在高气压下维持等离子体。4.没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿

微波等离子体的应用领域

微波等离子体可以运用到哪些行业:  微波制茶工艺  充分发挥微波微波热效应和非热特殊效应作用,升温速度快,茶叶中的水分子在微波电磁场中被极化,使茶叶从内部深层快速升温,达到钝化酶的  临界点温度,非常适合绿茶及其它特种茶的杀青和干燥作业。茶叶的有效营  养成分基本不损失,而且色、香、味都大大好于传统

什么是电弧等离子体发生器?

又称电弧等离子体炬,或称等离子体喷枪,有时也称电弧加热器。它是一种能够产生定向"低温"(约2000~20000开)等离子体射流的放电装置,已在等离子体化工、冶金、喷涂、喷焊、机械加工和气动热模拟实验等领域中得到广泛应用。

多功能微波等离子体实验装置

 自然界中物质的形态除了固、液、气三种形态之外,还存在第四态,即等离子体状态。等离子体的产生过程为:固体物质在受热的情况下熔化成液体,液体进一步受热后变成气体,气体进一步受热后,中性的原子和分子电离成离子和电子,形成等离子体。由于等离子体中含有大量具有高能量的活性基团,这使得等离子体能够参

微波等离子体亚深微米刻蚀

利用微波电子回旋共振(ECR)可以产生高密度的等离子体,选择不同的活性种粒分别对硅、砷化镓等半导体,Al, Cu, W, Ti 等金属,SiO2, Si3N4, Al2O3等无机物质和聚酰亚胺等有机物质,进行选择性刻蚀,制备大规模集成电路的芯片。现在的刻蚀技术,主要是采用电子束或同步辐射束曝光后,用