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扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。......阅读全文
结构 1．镜筒 镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束（直径约几个nm），并且使该电子束在样品表面扫描，同时激发出各种信号。 2．电子信号的收集与处理系统 在样品室中，扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号，其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇
特点（一） 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。（二） 样品制备过程简单，不用切成薄片。（三） 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。（四） 景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍
SEM真空系统 不同的灯丝，SEM真空系统的设计有所不同。在钨灯丝系统中，灯丝的真空度受到运行状态影响。例如，每次加载或卸载样品时，都会有空气进入真空柱，影响灯丝的使用寿命。观察不导电样品时，通常需要低真空，也会缩短灯丝寿命。对于CeB6系统，比如飞纳电镜，内置涡轮分子泵，采用分级真空系统
01.电子源大小 电子源大小为电子枪发射出电子后经韦氏帽汇聚后所形成的电子束斑，六硼化镧和六硼化铈灯丝明显小于钨灯丝，更有利于经过聚光镜和物镜汇聚后形成更小的电子束斑，从而得到更好的分辨率； 02.亮度 亮度为灯丝单位面积内的电子流强度，亮度越高，越有利于得到更充足的信号，提高图片的信噪比
工作程序 （1）开启试样室进气阀控制开关（CHAMB VENT），将试样放入试样室后将试样室进气阀控制开关（CHAMB VENT）关闭抽真空。 （2）开启镜筒真空隔阀。 （3）加高压（ACCELERATION POTENTIAL）至25KV. （4）加灯丝电流（FILAMENT）至7.5-8. （
关机程序 （1）关灯丝电流（FILAMENT）。 （2）关高压（ACCELERATION POTENTIAL）。 （3）反时针调节显示器对比度（CONTRAST）、亮度（BRIGHTNESS）到底. （4）关闭镜筒真空隔阀。 （5）关主机电源开关。 （6）关真空开关。 （7）20分钟后，关循环水和
扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途最为广泛的一种仪器．它可以进行如下基本分析： 1、观察纳米材料：其具有很高的分辨率，可以观察组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。 2、材料断口的分析：其景深大，
放大倍数扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中，Ac—荧光屏上图像的边长；As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地，Ac 是固定的(通常为100 mm)，则可通过改变As 来改变放大倍数。目前，大多数商品扫描电镜放大倍数为20～20,000倍，介于光学显微镜和透射电镜之间，即扫描电镜弥补了光学
景 深景深是指焦点前后的一个距离范围，该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求，可以成清晰的图像；也即，景深是可以被看清的距离范围。扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，所得扫描电子像富有立体感。电子束的景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角αc。其
衬 度衬度包括：表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时产生的背散射电子、吸收电子、X射线，对微区内原子序数的差异相当敏感。原子序数越大，图像越亮。二次电子受原子序数的影响较小。高分子中各组分之间的平均原子序数差别不大；所以只有—些特殊的高