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研究人员制备成功RFMEMS振荡器

中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,在自然科学基金、中科院项目的支持下,经过努力探索,制备成功RF MEMS振荡器。 基于微纳谐振器的MEMS振荡器,具有高频、高品质因子(>103),可与IC电路在同一芯片集成,实现系统小型化,在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。 中国科学院半导体研究所成功制作了高性能全硅MEMS振荡器,基频达149MHz,高阶频率达868MHz,大气中品质因子>8000,相位噪声在1kHz达到-68dBc/Hz,10kHz达到-95 dBc/Hz,短期频率稳定度小于±1 ppm,中期频率稳定度-5 ppm --2 ppm。全硅MEMS振荡器比石英晶振在性能、体积和生产成本方面明显占优,更符合现代电子产品的标准。全球时脉市场规模达50亿美元,目前MEMS振荡器市场占有率在4%以下,但预估2013~2015年,将有高达100%的年增长率。 ......阅读全文

MEMS振荡器的特点

特点与传统石英相比,全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上,都更符合现代电子产品的标准,也是对传统石英产品的升级换代。* 高性能模拟温补技术使全硅MEMS振荡器具有优秀的全温频率稳定性,彻底解除温飘问题;* 可编程的平台为系统设计和缩短新产品开发周期提供必要的灵活性;* 完善的半导体生产

MEMS振荡器的目标

目标MEMS振荡器可以利用现有硅半导体行业所使用的制造技术和设备,让半导体行业能在代工环境中集成MEMS。Sitime公司将以MEMSFirst技术进入时钟管理器件市场,下一代集成度更高的解决方案将包括MEMS振荡器和在同一硅晶圆上制造的超大规模集成电路控制功能。Sitime公司已与Jazz半导体公

MEMS振荡器的介绍

MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器。中文名 MEMS振荡器 外文名 MEMS oscillator介绍MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器,属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代,防震效果是前者的25倍,具有不受振动影响

MEMS振荡器技术及其应用研究

随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。由于MEMS谐振器的动态阻抗和Q值对MEMS振荡器的设计与性能有着重要的影响,本文以得到低动态阻抗和高Q值ME

研究人员制备成功RF MEMS振荡器

  中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,在自然科学基金、中科院项目的支持下,经过努力探索,制备成功RF MEMS振荡器。   基于微纳谐振器的MEMS振荡器,具有高频、高品质因子(>103),可与IC电路在同一芯片集成,实现系统小型化,在军民两用高技术领域具有非常广泛的应用。   

mems振荡器到底是不是传感器?

电路当中,实现分频比较容易,倍频的话,就会产生噪声,所以MENS硅在高速通信系统中无法使用。石英振荡器振荡的频率源来自石英,石英可以产生压电效应,是一种高值元件,振荡频率非常稳定,但是,如果同样对这样的频率进行倍频,也会产生噪声,总之,倍频会产生更多的噪音,更何况硅谐振源本身与石英振荡源比较,还是稍

MEMS振荡器与传统石英晶振的区别

Sitime全硅MEMS振荡器的实现原理完全不同于以往的石英晶振,因此它可以克服现有石英晶振的很多先天劣势。Sitime全硅MEMS振荡器与传统石英晶振的比较,有哪些优势呢?采用全硅MEMS技术所带来的优势:1、体积优势石英晶振的振荡频率受石英晶体的体积所限,而要切割微小体积的石英晶体非常困难,且石

石英晶体振荡器与全硅MEMS振荡器的特性比较

在构建各种电子设备及通信系统设备等过程中,振荡器作为信号源,其选择十分重要,将直接影响系统本身的性能。本次对以下两种振荡器用于基准信号源时的必要特性进行实际测试,通过性能比较进行说明:1、石英晶体单元为波源的基波振荡器;2、以硅谐振单元为波源且使用锁相环( PLL)的全硅 MEMS 振荡器。振荡器的

射频MEMS移相器

1、引言微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件,它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能力和灵敏度,以及系统的重量、体积和成本,因此研究宽带、低插损的移相器在军事上和民用卫星通信领域具有重要的意义。近年来,随着RF MEMS开关的研究不断取得进展,使MEMS开关替代

MEMS CHINA 2012 展会预告

  MEMS CHINA 2012 展会预告   铂悦仪器将于2012年6月11-13日参加在上海光大会展中心(上海徐汇区漕宝路66号)举办的MEMS CHINA 2012,展位号:207,届时将展出布鲁克台阶仪,光学轮廓仪、牛津激光钻孔机、 金相研磨切割机等。欢迎您莅临参观!   展会具体