发布时间:2018-03-19 00:00 原文链接: 陕西省微型机械电子系统研究中心

陕西省微型机械电子系统研究中心

成立于2001年3月,主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作。

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