上海微系统所高性能集成量子电流传感器通过验收

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术全国重点实验室研制的基于钻石负电荷氮空位色心的高性能集成量子电流传感器（以下简称量子电流传感器），顺利通过用户单位中国南方电网公司牵头组织的新产品技术鉴定。

该研究工作由中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、陈浩牵头，创新点是将钻石量子敏感材料与硅基微机电系统（MEMS）技术相结合，实现高密度多器件垂直互联与异质异构一体化集成，在 2.4立方厘米的小体积内实现多种量子信号传感芯片的制备，为电力工业电流精密测量提供了核心传感器。

在可靠性增强方面，研究团队利用双通道差分解耦测量的温漂抑制技术，实现了宽温域和复杂电磁环境中1毫安至10千安量程下0.06%的高精度和0.1%的低温漂测量。依据国标要求，全面验证了±800千安直流工程对传感器的高压绝缘、雷击、动热稳定、电磁兼容等特性，通过了挂网型式验证试验。