中国科大理化科学实验中心仪器上新，国仪超高分辨场发射电镜试运行

　　近日，中国科学技术大学理化科学实验中心新安装了国仪量子自主研制的超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。目前，该设备已完成前期调试，即将投入试运行。

　　中国科学技术大学理化科学实验中心内的两款国仪量子扫描电镜

　　中国科学技术大学理化科学实验中心

　　中国科学技术大学理化科学实验中心是中国科学技术大学公共技术创新平台实验中心之一，从1979年开始筹建。中心以“集中投入、统一管理、开放公用、资源共享”为建设原则，以建立条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源和共享机制为建设目标，为培养创新人才和开展高水平科学研究工作提供技术支撑，为社会经济建设提供技术保障。作为学校最早建成的大型仪器开放平台，中心不仅承担着相关院系、国家研究中心、国家重点实验室，省部级实验室以及国家、省部级等各类科研项目的技术支持分析测试任务，同时，也对相关学科提供教学、科研实验条件与环境。

　　超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X

　　SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

　　产品优势

　　超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

　　样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

　　高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

　　最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

　　应用案例