近日，深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称“中图仪器”）发布了其最新力作——CEM3000系列台式扫描电镜，这标志着公司在微观观测与分析领域迈出了坚实的一步。这款高性能的扫描电镜将在第25届中国国际光电博览会（9月11-13日深圳国际会展中心3号馆3A58）上精彩亮相，不仅展示中图仪器在精密测量仪器领域的深厚积累，也预示着国产高端科学仪器正逐步走向国际舞台。
在扫描电镜新品发布之际，分析测试百科网专访中图仪器副总经理张鹏，了解国产精密测量仪器发展之路。
深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张鹏
重磅新品：CEM3000系列台式扫描电镜
CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备，该系列涵盖CEM3000A（大样品仓型）和CEM3000B（抗振型）两款强化机型。
CEM3000A系列
CEM3000B系列
· 结构紧凑
该系列台式扫描电镜整机经过深入优化，在结构方面达到了最优的尺寸利用率，确保其出色的性能不再受环境尺寸的制约；
· 分辨率高
搭载卓越的电子光学系统，拥有优于4nm的空间分辨率，保证了高放大倍数下的清晰成像，能够满足纳米尺度的形貌观测需求；
· 易用性强
用户友好性出色，无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序，都能让用户轻松上手，一键获取理想图像，极大简化了操作流程；
· 抽放气速度快
独特的真空系统设计，极大缩短了用户抽放气的等待时间；
· 抗震防磁性能好
具有优秀的抗振防磁能力，特别是CEM3000B使用本公司专利技术，基于复合抗振手段，即使是在极高放大倍数下成像，用户也不用担心环境振动对电镜产生的干扰。
此外，该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件，极大地扩展了其应用领域，可广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域。
技术创新引领行业前行
在采访中，张鹏副总经理详细介绍了中图仪器在技术创新方面的努力与成就。中图仪器成立于2005年，是国家高新技术企业和工信部专精特新“小巨人”企业，公司总部位于深圳市南山区，在苏州、天津、沈阳、成都、武汉、宁波等多地设立分公司，拥有深圳、上海、武汉等多个研发中心，目前公司团队近600余人，包含200余人的研发队伍，为行业客户提供8大系列、20多个种类、200款产品，服务于工业制造过程中的显微尺寸、常规尺寸和大尺寸等各种测量需求。
目前中图仪器能够提供显微尺寸、常规尺寸和大尺寸三大类尺寸测量仪器，白光干涉仪、共聚焦显微镜、闪测仪、三坐标测量机、测长机、激光干涉仪、激光跟踪仪等产品在航空航天、机械重工、 3C电子、汽车制造、泛半导体、新能源、计量院所、科研院校等行业内获得了广泛应用，并且树立起了良好的口碑。对比同类产品，中图仪器坚持自主研发，掌握了多项核心技术，同时配备了充足的售前售后团队，让客户买得放心用得安心。
国产化替代：提升自主可控能力
面对国家对于仪器仪表行业国产化替代的号召，中图仪器积极响应，不断加大研发投入，推动精密测量仪器的国产化进程。张鹏副总经理表示：“中图仪器一直致力于打破国外技术垄断，提升我国精密测量仪器的自主可控能力。目前，我们的白光干涉仪、共聚焦显微镜、台阶仪、闪测仪等系列产品已成功实现国产化替代，并在市场上占据了一席之地，大大提升了我们计量检测的能力，提升了我国大型装备自主可控能力。”
中图仪器在CCD影像测量技术、3D微纳米测量技术、激光测量技术、接触精密测量技术方面拥有多项核心技术，截止目前已经获得近200项专利技术。中图仪器的全自动影像仪创新地实现了飞拍测量和闪测拼接测量等技术；复合型光学3D表面轮廓仪集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身；双向扫描型轮廓仪一次测量就能获得全部螺参数及轮廓参数，光学型轮廓仪一键测量，同步分析非球面所有参数和粗糙度参数；三坐标测量机控制器、软件、测头测座这三大件实现全自主研发生产；六自由度激光跟踪仪目标靶球自动锁定，断光续接，多目标自动测量，通过PTB认证的全自主SMT空间测量软件确保数据准确安全。
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| Novator系列全自动影像仪 | SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪 |
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| SJ5700DUAL双向扫描型轮廓仪 | SJ5900光学型轮廓仪 |
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| Mizar Silver三坐标测量机 | GTS激光跟踪仪 |
张鹏副总经理强调，国产化替代不仅有助于提升我国计量检测能力，还能降低企业成本，促进产业链上下游的协同发展。中图仪器将继续秉持“创新、品质、服务”的核心理念，为推动国产精密测量仪器的发展贡献力量。
随着CEM3000系列台式扫描电镜的发布，中图仪器再次展示了其在精密测量领域的深厚实力和创新精神。相信在未来的发展中，中图仪器将继续引领国产精密测量仪器的新潮流，为科研和工业生产的进步贡献更多力量。敬请期待中图仪器在第25届中国国际光电博览会上的精彩表现！