发布时间:2010-11-18 17:28 原文链接: 中科院微电子所过亿元仪器设备采购大单揭晓

  自2010年1月20日起至2010年11月18日,中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告,其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下:

  采购人名称:中国科学院微电子研究所

  采购代理机构全称:东方国际招标有限责任公司

  项目联系人:窦志超

  联系电话:010-68725599-8447


包号仪器设备名称中标供应商名称中标金额
第二批
第1包等离子体喷涂实验系统廊桥实业(香港)有限公司52.876万美元
第三批
第1包高分辨率场发射扫描电镜天美(中国)科学仪器有限公司107.0700万美元
第六批
第1包等离子体增强化学气相沉积系统伯东企业(上海)有限公司19.7万美元
第七批
第2包涂胶显影机沈阳芯源微电子设备有限公司295万人民币
第4包步进光刻机上海微高精密机械工程有限公司398万人民币
第5包光学轮廓仪维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司11.2万美元
第6包电子束蒸发台爱韩华(无锡)电子有限公司165万人民币
第8包全自动清洗机弘塑科技股份有限公司63万美元
第9包等离子去胶机Mattson Technology Inc37.5万美元
第八批
第1包信号分析仪安捷伦科技新加坡销售(私人)有限公司12.15万美元
第九批
第1包超低能离子注入机维利安精密仪器维修(上海)有限公司199万美元
第2包金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机Lam Research International Sarl380万美元
第3包化学机械研磨机汉民科技股份有限公司168万美元
第4包单片清洗机、单片湿法腐蚀设备Lam Research International Sarl165万美元
第5包单片清洗机盛美半导体设备(上海)有限公司44万美元
第十批
第1包化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线铨億机械股份有限公司50.5万美元
第2包半自动曝光机上海欧托科国际贸易有限公司42.52万美元
第3包机械钻孔机金富宝亚太有限公司13.80万美元
第5包真空压膜机联策科技(股份)有限公司40.251万美元
第6包封装基板等离子清洗机盈泰国际(集团)有限公司13万美元
第7包精密压机博可机械(上海)有限公司14.58万美元
第8包化铜线、镀铜线安美特(中国)化学有限公司上海青浦分公司人民币280万元
第十一批
第1包半自动清洗机北京七星华创电子股份有限公司人民币160万元
第2包扩散炉系统北京七星华创电子股份有限公司人民币405万元
第3包多晶硅低压化学气相淀积系统镭社有限公司45.05万美元
第4包膜厚仪Spectramax International Limited美元31.80万元
第6包多晶硅刻蚀机北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司人民币1139.4942万元

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