俄歇电子谱应用方向

1、通过俄歇电子谱研究化学组态：

原子“化学环境”指原子的价态或在形成化合物时，与该(元素)原子相结合的其它(元素)原子的电负性等情况。

2、定性分析：

对于特定的元素及特定的俄歇跃迁过程，其俄歇电子的能量是特征的。由此，可根据俄歇电子的动能来定性分析样品表面物质的元素种类。

3、定量分析或半定量分析：

俄歇电子强度与样品中对应原子的浓度有线性关系，据此可以进行元素的半定量分析。

但AES定量分析的结果受环境，样品等影响较大，所以，AES不是一种很好的定量分析方法，它给出的仅仅是半定量的分析结果。

4、成分深度分析：

AES的深度分析功能是AES最有用的分析功能，主要分析元素及含量随样品表面深度的变化。采用能量为500eV～5keV的惰性气体氩离子溅射逐层剥离样品，并用俄歇电子能谱仪对样品原位进行分析，测量俄歇电子信号强度I （元素含量）随溅射时间t（溅射深度）的关系曲线,这样就可以获得元素在样品中沿深度方向的分布。

5、微区分析

微区分析也是俄歇电子能谱分析的一个重要功能，可以分为选点分析，线扫描分析和面扫描分析三个方面。这种功能是俄歇电子能谱在微电子器件研究中最常用的方法，也是纳米材料研究的主要手段。