光纤光谱仪在显微光谱分析中的应用

显微光谱分析又称微区光谱分析，是通过光学显微镜等辅助光学设备，采集微小区域的光信号进行样品光谱分析的一种方法。　

显微光谱分析是对比普通光谱分析而言。通常普通光谱分析是指普通光纤光谱仪通过光纤将光信号导入光谱之中。但是由于光纤收集的是发散光(一般光谱光纤数值孔径为0.22)，因此普通光纤光谱仪仅能采集较大空间的光信号。测试信号并不理想。　

后来，人们通过光学显微镜配合光纤光谱仪进行样品空间分辨分析使得样品的空间分辨率得到了大大的提高。为了获得更高的分辨率一方面是要提高显微镜的分辨率，另外一方面是要提高光纤光谱仪的性能和两者之间的配合性能。　

目前市场上光纤光谱仪种类繁多，选择一款适合的光纤光谱仪至关重要。复享光纤光谱仪提供的设备在市场上一直在显微光谱分析领域具有良好的口碑。如果您拥有光学显微镜，那么进行显微光谱分析最简单的方法就是配备复享光纤光谱仪的专用显微镜-光纤适配器对谱仪和显微镜进行整合同时配合复享光纤光谱仪开发的定制软件。然后，您就能轻轻松松的用显微镜和整合好的光纤光谱仪系统对样品进行信号分析。　　

一般来说，如果您拥有50倍以上的物镜，在不做光阑修饰的情况下，能够做到25微米见方区域的显微光谱分析。当然，复享还能够为您提供更精细的显微光谱分析。通过复享光纤光谱仪的专利技术，显微系统能将光谱仪的空间分辨率提高至5微米见方。　

普通光谱分析和显微光谱分析已经具有专利技术的光谱分析对比表　　

普通光谱分析显微光谱分析复享专利的显微光谱分析　　

空间分辨率能力典型1X1mm2最小25X25um2最小5X5um2　　

角分辨能力无无有，详见R6产品介绍　

最大光谱波段200-2500nm380-780nm320-1100nm　　

制绒过程:　　

制绒是将电池片表面刻蚀或腐蚀成不规则的粗糙表面。由于入射光在电池片表面多次反射和折射、增加了光的吸收，提高了电池片的短路电流和转换效率。此时，可以利用测量反射率来衡量电池片的制绒效果。一般来说，在制绒完成后，电池片的反射率在35%左右。　　

清洗过程:

在制绒过程后，需要对电池片表面进行一般的化学清洗。清洗后还要进行脱水处理。此时，可以利用测量反射率来衡量电池片清洗效果。　

PECVD过程　　

为了进一步减少表面反射，提高电池的转换效率，需要沉积一层SiN(氮化硅)减反射膜。现在工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子体增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体做能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜，即氮化硅薄膜。在反应过程中，可以使用高分辨的等离子体监控仪进行等离子体反应的原位监控。一般情况下，使用PECVD方法沉积的薄膜厚度在70nm左右。完成PECVD镀膜后，需要使用椭偏仪和反射率仪综合衡量电池片的膜厚和反射率　

封装过程　　

在组件的表面需要封装上玻璃，起到保护电池组件的作用。现在一般使用增透型的压花玻璃进行封装。压花玻璃的透过率将直接影响电池组件的发电效率。因此，需要使用压花玻璃透过率仪对封装的压花玻璃透过率进行检测。　　

测试过程　

为了衡量电池组件的发电效率，需要使用太阳光模拟器照射进行发电效率的测试。太阳光模拟器一般使用特殊的脉冲氙灯光源。由于脉冲氙灯光源具有使用寿命，因此，为了获取准确的效率数据，需要对太阳光模拟器的辐射情况进行检测。