奥谱天成一直致力于光谱解决方案的应用开发,基于高端光谱仪器国产化的目标,当前已完成拉曼光谱仪、光纤光谱仪、高光谱成像仪和地物光谱仪等产品线的全系列开发,并且已全方位应用于各行各业,“国产引领世界” 也是众多用户对于奥谱天成的肯定和赞誉!
在光谱仪器国产化推进过程中,奥谱天成一直是迎难而上,哪里有需求,哪里就有奥谱天成!当前,基于行业的痛点+用户的需求,奥谱天成新增“工业测量”产品线,引进高端人才,全力投入“工业测量”产品应用研发,2个月内已完成“薄膜厚度测量仪”的系列开发。
奥谱天成SM200、SM230、SM280系列产品,是利用薄膜反射光干涉原理研制而成的智能薄膜厚度测绘仪。其中,该系列产品核心器件均采用高分辨率、高灵敏度光谱仪,结合奥谱天成独有的算法技术,为用户提供全新领先技术的自动光学薄膜厚度测量仪。
自动光学薄膜厚度测量仪
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,我们可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(愈多的震荡代表较大的厚度),而其他的材料特性如折射率与粗糙度也能同时测量。
奥谱天成充分吸收行业痛点、深挖客户需求,倾心打造国内领先的自动薄膜厚度测量仪,其由主机光源发射光线,经由Y型光纤照射到被测样品表面。Y型光纤由7根细光纤组成一个梅花状,外侧6根光纤射出光线,中间的一根光纤将反射回的干涉光导回到主机内部的光谱仪进行测量和计算。
SM230、SM280的测绘方式可以是极性、矩形或线性的,主机内置高性能运动控制器赋能可旋转平台支持多种预定义测绘方式,配备的上位机软件支持用户创建自己的测绘方式而不受测量点数量的限制,测量结果支持2D和3D呈现,点位地图支持的形态:
*圆形/方形
*放射状
*中心或边缘排除
*点位密度
薄膜厚度最大测绘范围可以达到1nm~250um。
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测绘,这几乎包含了所有的电介质和半导体材料,包括:
氧化硅、氮化层、类钻薄膜、多晶硅、光刻胶、高分子、聚亚酰胺、非晶硅等。
l 半导体镀膜:光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨;
l 液晶显示:间隙厚度、聚酰亚胺、ITO透明导电膜;
l 光学镀膜:硬涂层、抗反射层;
l 微电子系统:光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板;
l 生物医学:医疗设备、Parylene
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