全反射X射线荧光光谱仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2016年11月28日启用。
一、技术指标
可分析元素范围：Al~U（靶元素和与靶元素干扰严重的元素除外） 浓度范围：10-9~100% 检出限：Ni≤2pg 激发源：最大功率≥30W；最大激发电压≥50kV，最大激发电流≥1mA 探测器：SDD探测器，活性面积≥30mm2，能量分辨率≤145eV（Mn Kα）， 最大计数率≥100kcps 测量强度的重复性：RSD≤1%（扣除技术统计误差）。
二、主要功能
用于分析液体、粉末、固体样品中常量、次量和痕量元素的快速分析，能够迅速准确分析从Al~U（除惰性气体及少部分元素外）的所有元素，含量范围从10-9~100%。