发布时间:2024-08-12 15:35 原文链接: 关于拟乳己糖神经酰胺的基本介绍

  拟乳己糖神经酰胺是随着ULSI技术的不断向前发展,对半导体硅的表面性质要求也越来越严格。而且电路的集成度日益提高,单元图形的尺寸日益微化,污染物对器件的影响也愈加突出,以至于洁净表面的制备已成为制作64M和256MbyteDRAM的关键技术[1,2]。此外有超过50%成品损失率是由硅表面的污染所造成的。